基本原理としては、レーザ光による光切断法を採用しています。投光光学系により生成されたストライプレーザ光を測定対象物に照射し、その反射光をイメージングセンサで受光し三角測距することで、ストライプ光1ライン分の3次元距離データが得られます。ストライプ光をガルバノミラーにより走査することで、測定対象物全体の3次元データが取得できます。

基線長L（受光光学系と投光光学系の間隔）と投光するレーザ光のなす角θ、および受光光学系への入射角φを測定することで、三角形の合同条件から測定物面上のレーザ光位置の絶対座標が求められます。θはガルバノミラーの指令値から、φはイメージングセンサ面上での入射位置座標ｖから決まります。

弊社ではイメージングセンサの各画素について、その上を通過するストライプ光の「時間重心」を求めることでストライプ光の投光角度を正確に求め、高精度な3次元距離情報を得ています。「空間重心」を求める方法に比べてイメージングセンサ画素間の感度ばらつきや、測定物の部分的な明暗のばらつきの影響を受けにくい利点があります。

ガルバノミラー：軸を付けて、電気信号に応じて回転角を変えられるようにしたミラー