迷光は分光器の内部で発生するノイズ成分です。特にポリクロメーター方式の分光器で発生し易く、測定誤差が生じて精度が悪くなる要因となります。迷光対策としては2種類あります。1つは分光器の光学設計を改善する方法で、そしてもう1つが、校正の方法を工夫することで迷光を補正する方法です。インスツルメントシステムズ社のCAS140シリーズでは、アメリカ国立標準技術研究所（NIST）が提唱する方式の迷光補正機能を採用し、測定精度の向上を可能にしました。

紫外線の範囲は、通常 UVA（320-400 nm）、UVB（280-320 nm）、UVC（200-280 nm）に分けられます。UVA の放射は、印刷インキ、接着剤、塗料の硬化に使用され、UVC 放射は、消毒殺菌と水質浄化に使用されます。
図1は、UVA LED のスペクトル測定における、迷光補正適用時（青線）とそうでない場合（赤線）、そして原理的に迷光が低いダブルモノクロメーター方式の分光器で測定した場合（緑線）の結果を示しています。350nm以下のUV域において迷光補正を適用した場合は、適用しない場合と比べて一桁以上迷光が抑えられていることがわかります。このケースでは迷光量としては10-5オーダーまで下げられ、放射強度の精度を3%以上改善することができました。

UVC LED測定においてはさらに迷光補正の効果が顕著になります。図2では、迷光補正機能により従来比 放射強度の精度が約4%改善しました。ダブルモノクロメーター分光器に匹敵するレベルまで迷光が抑えられていることがわかります。今回のLEDサンプルのピーク波長（257nm）自体は迷光補正の有無では全く変わりません。一方で迷光が抑えられたことでスペクトルの重心波長が約 0.8 nmシフトし、測定精度の向上が見られました。