Z方向の数値は演算（三角測量）で求められた距離を表しており、XY方向のようにCCDの画素数に起因する分解能（点間ピッチ）という表現はございません。
微小段差の認識可否をZ方向の分解能と考えれば、カタログに記載の『精度』（RANGE7：4μm、RANGE5:8μm）がそれに相当致します。